Какви фактори влияят на точността на линейните релси с висока точност?
Високо прецизни линейни релси(usually used in semiconductor manufacturing, precision testing equipment, high-end machine tools and other scenarios, the accuracy level of C5 and above, repeat positioning accuracy of<=± 0.005mm) of the accuracy of the strict constraints by the factors of multiple links, and its impact on the factors than the ordinary linear guide is more complex and sensitive, can be divided into the following categories:
Първо, ядрото на производствената верига на влияещи фактори
1. Процес на обработка на материал и топлина
Материална еднообразие:
guide body mostly using high-carbon chrome bearing steel (such as SUJ2) or ceramic materials, if the material internal presence of loose, segregation or non-metallic inclusions (size > 5μm that may affect), will lead to uneven distribution of heat-treated stress, which in turn, in the long-term use of stress release due to the generation of small deformations (such as curvature, micro-crack) The straightness of the product will be повреден .
Точност на топлинното обработка:
Ако температурата не се контролира правилно по време на процеса на втвърдяване (като колебанията на скоростта на нагряване ± 5 градуса), това ще доведе до неравномерна твърдост на повърхността на водещата релса (HRC 58-62 и отклонението по-малко или равно на 1HRC), разликата в местното износване ще доведе до неравномерна абразия и кумулативна грешка в токостта след дългосрочна работа; и темперирането не е достатъчно ще бъдат остатъчни вътрешни напрежения, което ще доведе до малко количество деформация на водещата релса във времето (като деформацията на дължината на всеки метър от годината ＞ 0 . 002mm, която засяга точността) . 0.002 mm годишна деформация на дължината на метър) ще повлияе на точността).
2. Прецизен процес на обработка
Ръководство за релсово напречно сечение Микрокшира:
Ръководството на водещия железопътен радиус на толеранса на кривината трябва да бъде контролиран при ± 0 . 001mm (обикновен водач за ± 0,01 мм), ако отклонението е твърде голямо, ще доведе до топката и контактната точка на състезанието, което ще доведе до допълнителен въртящ момент, влияещ върху работата на праваността; Ръководството на равнината на датата изисква по -малко или равна на 0,002 мм/100 мм (обикновена водача за по -малко или равно на 0,01 мм/100 мм), в противен случай инсталацията не може да бъде инсталирана, водачът не може да се използва . 100 mm), в противен случай инсталацията не може да гарантира точността на позициониране през референтната повърхност.
Стабилност на процеса на смилане:
The final processing of precision guideway relies on ultra-precision grinding (grinding wheel speed>=15000r/min), if the grinding wheel wear is not uniform (such as wear per hour ＞0.002mm), the fluctuation of the feed (± 0.001mm or less is qualified), it will lead to the appearance of the surface of the guideway with the℃of corrugation (requirement Less than or равен на 0,1 μm/25 mm), което пряко влияе на гладкостта на работата на плъзгача.
3. точност на сглобяване и сдвояване
Precision Guide Rail обикновено се използва "релси - плъзгач" Процес на смилане на двойки, ако сдвояването на толеранс на диаметъра на стоманата (изискванията, по -малко или равни на ± 0 . 0005mm), е непоследователно, позиционното отклонение на циркулиращия канал в плъзгача (по -малко или равен на ± 0 {. 002mm), ще доведе до une Циклична вибрация (амплитуда по -малка или равна на 0,001 мм). (Амплитуда по -малка или равна на 0,001 мм), намалявайки повторяемостта на точността на позициониране.
Второ, факторите за инсталиране и въвеждане в експлоатация
1. Прецизност на инсталацията на инсталацията:
Installation of the base of the guide rail flatness needs to be<=0.005mm/100mm (ordinary scene is<=0.02mm/100mm), if there is a bump or depression, will lead to deformation of the guide rail deformation of the force (deformation of the amount of per meter > 0.003mm that affects the accuracy); Грапавостта на основната повърхност трябва да бъде по -малка или равна на RA0.8 μm, в противен случай болтът ще бъде затегнат поради неравномерен контакт с местните напрежения. В противен случай, когато болтовете са затегнати, ще се генерира локализирано напрежение поради неравномерен контакт.
Когато сплитате множество водещи релси, разликата в височината (по -малка или равна на 0 . 002mm) и несъответствие (по -малко или равно на 0,003 мм) при ставите трябва да бъдат строго контролирани, в противен случай плъзгачът ще има въздействие, когато преминава през ставите, което води до моментално колебанията.
2. Метод за закрепване на инсталацията:
Неравномерното предварително натоварване на болта (препоръчително управление на гаечния ключ, грешка, по -малка или равна на ± 5%), ще доведе до локално огъване на водещата релса; Ако разстоянието на болта е твърде голямо (повече от 300 мм), то може да бъде разхлабено поради вибрация след дълъг период на работа и грешката на позициониране ще бъде натрупана .
Ръководство и основа на фиксирания начин (като лепило подпомагано закрепване), ако дебелината на лепилния слой не е равномерна (отклонение> 0 . 002mm), ще доведе до следи от водача, засягащ правността.
3. паралелизъм и корекция на коаксиалността:
Когато е инсталиран двойният водач, грешката в паралелизма трябва да бъде по -малка или равна на 0 . 003mm/500mm (общата сцена е по -малка или равна на 0,01 мм/500 мм), в противен случай силата в двата края на плъзгача е небалансирана, генерирайки допълнителен въртящ момент на триене, което води до отразяване на пистата.
Коаксиална отклонение (по -малко или равно на 0 . 005mm) с задвижващата система (E . g . топлен винт), ако е надвишен, ще генерира странична сила поради компенсирането на посоката на задвижващата сила, унищожавайки точността на движението на пътеката.
Трето, използването на фактори на околната среда
1. Температурни колебания:
Ръководството за прецизност е изключително чувствително към температурните промени, колебанията на температурата на околната температура от 1 градус, ръководството (стоманата) ще се дължи на термично разширяване и свиване на дължината 0 . 011mm / m промени (коефициент на линейно разширяване на 11 × 10- ⁶ / степен), ако оборудването няма оборудване Грешки . Например, в полупроводниковата литография, температурата на околната среда трябва да бъде контролирана на 23 ± 0,1 градуса, за да се избегне термичната деформация на водача.
2. вибрация и шок:
Външната вибрация (като ускорение на вибрацията на земята> 0 . 01g) ще доведе до ръководство и плъзгач между микро-плъзгането (амплитуда> 0,0005 мм), намалявайки точността на статичното позициониране; Честите удари (като колебанията на силата на рязане в обработващото оборудване) ще ускорят износването на стоманената топка и пистата, така че точността на използването на времето с бърз спад.
3. Чистота и смазване:
Прах в околната среда (размер на частиците> 0 . 5 μm) в пистата, ще доведе до износване на стоманена топка и шлифоване на състезанието, краткосрочен спад в точност; Чистотата на мазнините (примесните частици по -малко или равни на 0,001 мм) и пълненето (на всеки 100 км работа за попълване на времето) не е достатъчно, ще изостря триенето, което води до циклично прецизно отклонение.
Четвърто, материалът и използването на коефициенти на загуба
1. стабилност на материала:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0 . 002mm/m) поради освобождаване на напрежение при дългосрочна употреба, което води до прецизно отклонение.
2. Износване и умора:
Дори при идеални условия на работа контактното напрежение между стоманена топка и пистата (до 3000MPa или повече) ще доведе до малко износване и след натрупване на работа от 100 км точността на повторно позициониране може да намалее с 0.001-0.002 mm; Ако има натоварване (натоварване на офсет ＞ 5 мм), износването ще се влоши, а скоростта на прецизно спад ще се увеличи с 3-5 пъти .
В обобщение, точността на Висока прецизна линейна Rails е резултат от синергията на цялата верига „точност на производството - контрол на инсталацията - управление на околната среда - използване и поддръжка“, а всяко малко отклонение във всяка връзка може да увеличи грешката в окончателната точност, така че е необходимо да се извърши целия процес на контрол в дизайна и приложението .
Свържете се с нас
📞 Телефон:+86-8613116375959
📧 Имейл:741097243@qq.com
🌐 Официален уебсайт:https: // www . автоматизация-js . com/
